Φούστα με επίστρωση CVD SiC

Το Vetek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής για φούστα με επικάλυψη CVD στην Κίνα.

Η τεχνολογία βαθιάς υπεριώδους επιταξίας του εξοπλισμού Aixtron διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο στην κατασκευή ημιαγωγών. Αυτή η τεχνολογία χρησιμοποιεί μια πηγή βαθιάς υπεριώδους φωτός για την εναπόθεση διαφόρων υλικών στην επιφάνεια της γκοφρέτας μέσω επιταξιακής ανάπτυξης για να επιτύχει ακριβή έλεγχο της απόδοσης και της λειτουργίας της γκοφρέτας. Η τεχνολογία βαθιάς υπεριώδους επιταξίας χρησιμοποιείται σε ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, καλύπτοντας την παραγωγή διαφόρων ηλεκτρονικών συσκευών από led έως λέιζερ ημιαγωγών.

Σε αυτή τη διαδικασία, η φούστα με επίστρωση CVD SiC παίζει βασικό ρόλο. Έχει σχεδιαστεί για να υποστηρίζει το επιταξιακό φύλλο και να οδηγεί το επιταξιακό φύλλο σε περιστροφή για να εξασφαλίζει ομοιομορφία και σταθερότητα κατά την επιταξιακή ανάπτυξη. Με τον ακριβή έλεγχο της ταχύτητας περιστροφής και της κατεύθυνσης του υποδοχέα γραφίτη, η διαδικασία ανάπτυξης του επιταξιακού φορέα μπορεί να ελεγχθεί με ακρίβεια.

Το προϊόν είναι κατασκευασμένο από υψηλής ποιότητας επίστρωση γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου, εξασφαλίζοντας την εξαιρετική απόδοση και τη μεγάλη διάρκεια ζωής του. Το εισαγόμενο υλικό γραφίτη διασφαλίζει τη σταθερότητα και την αξιοπιστία του προϊόντος, έτσι ώστε να μπορεί να αποδώσει καλά σε διάφορα περιβάλλοντα εργασίας. Όσον αφορά την επίστρωση, χρησιμοποιείται ένα υλικό καρβιδίου του πυριτίου μικρότερο από 5 ppm για να διασφαλιστεί η ομοιομορφία και η σταθερότητα της επίστρωσης. Ταυτόχρονα, η νέα διαδικασία και ο συντελεστής θερμικής διαστολής του υλικού γραφίτη ταιριάζουν καλά, βελτιώνουν την αντοχή του προϊόντος σε υψηλές θερμοκρασίες και την αντίσταση θερμικών κραδασμών, έτσι ώστε να μπορεί να διατηρεί σταθερή απόδοση σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας.

Βασικές φυσικές ιδιότητες της φούστας με επικάλυψη CVD:

Vetek Semiconductor CVD SIC Coated Products Products:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας ημιαγωγών chip: