Μονό γραβάτα EPI Graphite Undertaker

Περιγραφή:

Ο Sensceptor του EPI του EPI του EPI περιλαμβάνει ένα σύνολο δίσκων γραφίτη, δακτυλίου γραφίτη και άλλων αξεσουάρ, χρησιμοποιώντας σύνθετη δομή επίστρωσης καρβιδίου υψηλής καθαρότητας + εναπόθεση πυριτίου καρβιδίου, λαμβάνοντας υπόψη τη σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας, τη χημική αδράνεια και την ομοιομορφία του θερμικού πεδίου. Είναι το συστατικό του βασικού εδράνου του επιταξιακού φύλλου υψηλής ακρίβειας στη μαζική παραγωγή.

Υλική καινοτομία: γραφίτη +επίστρωση SIC

Γραφίτης

● Εξαιρετικά υψηλής θερμικής αγωγιμότητας (> 130 W/M · K), γρήγορη απόκριση στις απαιτήσεις ελέγχου της θερμοκρασίας, για να εξασφαλιστεί η σταθερότητα της διαδικασίας.

● Συντελεστής χαμηλού θερμικής διαστολής (CTE: 4,6 × 10 °/° C), μείωση της παραμόρφωσης υψηλής θερμοκρασίας, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής.

Επικάλυψη CVD SIC

● Αντοχή στη διάβρωση. Αντιμετωπίστε την επίθεση από τα αέρια αντίδρασης όπως H₂, HCl και SiH₄. Αποφεύγει τη μόλυνση του επιταξιακού στρώματος με πτητικοποίηση του βασικού υλικού.

● Επιφανειακή πυκνοποίηση: Το πορώδες της επικάλυψης είναι μικρότερο από 0,1%, γεγονός που εμποδίζει την επαφή μεταξύ γραφίτη και δίσκου και εμποδίζει τη διάχυση των ακαθαρσιών άνθρακα.

● Ανοχή υψηλής θερμοκρασίας: Μακροπρόθεσμη σταθερή εργασία στο περιβάλλον άνω των 1600 ° C, προσαρμόζονται στη ζήτηση υψηλής θερμοκρασίας της επιταξίας SIC.

Σχεδιασμός βελτιστοποίησης θερμικού πεδίου και ροής αέρα

Ομοιόμορφη δομή θερμικής ακτινοβολίας

Η επιφάνεια της ευαισθησίας έχει σχεδιαστεί με πολλαπλές θερμικές αυλακώσεις αντανάκλασης και το σύστημα ελέγχου θερμικού πεδίου της συσκευής ASM επιτυγχάνει ομοιομορφία θερμοκρασίας εντός ± 1,5 ° C (δίσκο 6 ιντσών, δίσκου 8 ιντσών), εξασφαλίζοντας τη συνέπεια και την ομοιομορφία του πάχους του επιταξιακού στρώματος (διακύμανση <3%).

Τεχνική διεύθυνσης αέρα

Οι οπές εκτροπής ακμής και οι κεκλιμένες στήλες υποστήριξης έχουν σχεδιαστεί για να βελτιστοποιούν την κατανομή της ελασματοειδούς ροής του αερίου αντίδρασης στην επιφάνεια του δίσκου, να μειώσουν τη διαφορά στον ρυθμό εναπόθεσης που προκαλούνται από τα ρεύματα από το ρεύμα και να βελτιώσουν την ομοιομορφία του ντόπινγκ.