Νέα

Αυτό το άρθρο περιγράφει κυρίως τις ευρείες προοπτικές εφαρμογής των κεραμικών καρβιδίου πυριτίου. Επικεντρώνεται επίσης στην ανάλυση των αιτίων της πυροσυσσωμάτωσης ρωγμών σε κεραμικά καρβιδίου πυριτίου και στις αντίστοιχες λύσεις.

Η τεχνολογία χάραξης στην κατασκευή ημιαγωγών αντιμετωπίζει συχνά προβλήματα όπως η επίδραση φόρτωσης, η επίδραση μικρο-αυλής και η επίδραση φόρτισης, τα οποία επηρεάζουν την ποιότητα του προϊόντος. Τα διαλύματα βελτίωσης περιλαμβάνουν τη βελτιστοποίηση της πυκνότητας του πλάσματος, τη ρύθμιση της σύνθεσης του αερίου αντίδρασης, τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας του συστήματος κενού, τον σχεδιασμό της λογικής διάταξης λιθογραφίας και την επιλογή των κατάλληλων υλικών μάσκας χάραξης και των συνθηκών διεργασίας.