Νέα

Τα νανοϋλικά καρβιδίου πυριτίου (SIC) είναι υλικά με τουλάχιστον μία διάσταση στην κλίμακα νανομέτρου (1-100Nm). Αυτά τα υλικά μπορούν να είναι μηδενικά, ένα, δύο ή τρισδιάστατα και έχουν διαφορετικές εφαρμογές.

Το CVD SIC είναι υλικό καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας που κατασκευάζεται με χημική εναπόθεση ατμών. Χρησιμοποιείται κυρίως για διάφορα εξαρτήματα και επικαλύψεις στον εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών. Το ακόλουθο περιεχόμενο είναι μια εισαγωγή στις λειτουργίες ταξινόμησης προϊόντων και βασικών λειτουργιών του CVD SIC

Αυτό το άρθρο εισάγει κυρίως τους τύπους προϊόντων, τα χαρακτηριστικά του προϊόντος και τις κύριες λειτουργίες της επικάλυψης TAC στην επεξεργασία ημιαγωγών και κάνει μια ολοκληρωμένη ανάλυση και ερμηνεία των προϊόντων επικάλυψης TAC στο σύνολό τους.

Αυτό το άρθρο εισάγει κυρίως τους τύπους προϊόντων, τα χαρακτηριστικά του προϊόντος και τις κύριες λειτουργίες του MOCVD Sensceptor στην επεξεργασία ημιαγωγών και κάνει μια ολοκληρωμένη ανάλυση και ερμηνεία των προϊόντων SEFCVD Sensceptor στο σύνολό τους.

Ένας επικαλυμμένος με SiC υποδοχέας γραφίτη για ASM δεν είναι απλώς ένα ανταλλακτικό μέσα σε ένα σύστημα επιταξίας. Είναι ένας φορέας κρίσιμος για τη διεργασία που επηρεάζει τη θερμική ομοιομορφία, την καθαρότητα της γκοφρέτας, την ανθεκτικότητα της επίστρωσης, τη σταθερότητα του θαλάμου και το μακροπρόθεσμο κόστος παραγωγής.

Ένα κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC δεν είναι απλώς ένα προστατευτικό καπάκι ή ένα επικαλυμμένο εξάρτημα γραφίτη. Σε διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, μπορεί να επηρεάσει την καθαριότητα του θαλάμου, τη θερμική σταθερότητα, τη διάρκεια ζωής του μέρους και τη συνοχή της διαδικασίας.