Υποστηρίτης Aixtron MOCVD

Οι ευαίσθητοι που παράγονται απόΕίναι ημιαγωγόςείναι κατασκευασμένα από υλικό επικάλυψης υπόστρωμα γραφίτη και πυριτίου (SIC). Δεδομένης της υψηλότερης αντοχής στη φθορά, της αντοχής στη διάβρωση και της εξαιρετικά υψηλής σκληρότητας του υλικού SIC, είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για χρήση σε σκληρά περιβάλλοντα διαδικασιών. Ως εκ τούτου, οι ευαίσθητοι που παράγονται από το Vetek Semiconductor μπορούν να χρησιμοποιηθούν άμεσα σε διεργασίες MOCVD υψηλής θερμοκρασίας χωρίς πρόσθετη επιφανειακή θεραπεία.

Οι Sensceptors αποτελούν βασικά εξαρτήματα στην κατασκευή ημιαγωγών, ειδικά στον εξοπλισμό MOCVD για διαδικασίες εναπόθεσης λεπτού φιλμ. Ο κύριος ρόλος τουAIXTRON: Έτσι η υποστήριξηΣτη διαδικασία MOCVD είναι να μεταφέρετε πλακίδια ημιαγωγών, να εξασφαλίσετε την ομοιόμορφη και υψηλής ποιότητας εναπόθεση λεπτών μεμβρανών παρέχοντας ομοιόμορφη διανομή θερμότητας και περιβάλλον αντίδρασης, επιτυγχάνοντας έτσι την παραγωγή λεπτού φιλμ υψηλής ποιότητας.

Υποστηρίτης Aixtron MOCVDΧρησιμοποιείται συνήθως για την υποστήριξη και τη διόρθωση της βάσης των δισκίων ημιαγωγών για να εξασφαλιστεί η σταθερότητα του δίσκου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εναπόθεσης. Ταυτόχρονα, η επιφανειακή επικάλυψη του Aixtron MOCVD Sensceptor είναι κατασκευασμένη από καρβίδιο πυριτίου (SIC), ένα εξαιρετικά θερμικά αγώγιμο υλικό. Η επικάλυψη SIC εξασφαλίζει ομοιόμορφη θερμοκρασία στην επιφάνεια του δισκίου και η ομοιόμορφη θέρμανση είναι απαραίτητη για την απόκτηση ταινιών υψηλής ποιότητας.

Επιπλέον, τοΥποστηρίτης Aixtron MOCVDΠαράγουμε παίζει μεγαλύτερο ρόλο στον έλεγχο της ροής και της κατανομής των αντιδραστικών αερίων μέσω του βελτιστοποιημένου σχεδιασμού των υλικών. Αποφύγετε τα ρεύματα Eddy και τις βαθμίδες θερμοκρασίας για να επιτύχετε ομοιόμορφη εναπόθεση φιλμ.

Το πιο σημαντικό, στη διαδικασία MOCVD, το υλικό επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου (SiC) έχει αντοχή στη διάβρωση, έτσιΕίναι ημιαγωγός'μικρόΥποστηρίτης Aixtron MOCVDμπορεί επίσης να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά αέρια.

Βασικές φυσικές ιδιότητες τουΕπικάλυψη:

Καταστήματα VeTek Semiconductor Wafer Boat:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών: