Νέα

Ένας επικαλυμμένος με SiC υποδοχέας γραφίτη για ASM δεν είναι απλώς ένα ανταλλακτικό μέσα σε ένα σύστημα επιταξίας. Είναι ένας φορέας κρίσιμος για τη διεργασία που επηρεάζει τη θερμική ομοιομορφία, την καθαρότητα της γκοφρέτας, την ανθεκτικότητα της επίστρωσης, τη σταθερότητα του θαλάμου και το μακροπρόθεσμο κόστος παραγωγής.

Ένα κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC δεν είναι απλώς ένα προστατευτικό καπάκι ή ένα επικαλυμμένο εξάρτημα γραφίτη. Σε διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, μπορεί να επηρεάσει την καθαριότητα του θαλάμου, τη θερμική σταθερότητα, τη διάρκεια ζωής του μέρους και τη συνοχή της διαδικασίας.

Στην παραγωγή PECVD, πολλά προβλήματα επίστρωσης και εναπόθεσης δεν ξεκινούν με την ισχύ πλάσματος ή τη χημεία αερίων. Ξεκινούν με τον φορέα που κρατάει τις γκοφρέτες.