Προστάτης επικάλυψης CVD SIC

Τοποθέτηση προϊόντων και βασικές λειτουργίες:

Το CVD SIC Coating Protector αποτελεί βασικό συστατικό του επιταξιακού εξοπλισμού καρβιδίου LPE, που χρησιμοποιείται κυρίως για την προστασία της εσωτερικής δομής του θαλάμου αντίδρασης και τη βελτίωση της σταθερότητας της διαδικασίας. Οι βασικές λειτουργίες του περιλαμβάνουν:

Προστασία διάβρωσης: Η επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου που σχηματίζεται από τη διαδικασία εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) μπορεί να αντισταθεί στη χημική διάβρωση του πλάσματος χλωρίου/φθορίου και είναι κατάλληλο για σκληρά περιβάλλοντα όπως εξοπλισμός χάραξης.

Θερμική διαχείριση: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του υλικού καρβιδίου πυριτίου μπορεί να βελτιστοποιήσει την ομοιομορφία της θερμοκρασίας στο θάλαμο αντίδρασης και να βελτιώσει την ποιότητα του επιταξιακού στρώματος.

Μείωση της ρύπανσης: Ως συστατικό επένδυσης, μπορεί να εμποδίσει την αντίδραση υποπροϊόντων από την άμεση επικοινωνία με τον θάλαμο και να επεκτείνει τον κύκλο συντήρησης του εξοπλισμού.

Τεχνικά χαρακτηριστικά και σχεδιασμός:

Δομικός σχεδιασμός:

Συνήθως χωρίζεται σε άνω και κάτω μισά μέρη, εγκατεστημένα συμμετρικά γύρω από το δίσκο για να σχηματίσουν μια προστατευτική δομή σε σχήμα δακτυλίου.

Που συνεργάζεται με εξαρτήματα όπως δίσκους και κεφαλές ντους αερίου για τη βελτιστοποίηση της κατανομής της ροής αέρα και των αποτελεσμάτων εστίασης στο πλάσμα.

Διαδικασία επικάλυψης:

Η μέθοδος CVD χρησιμοποιείται για την κατάθεση επικαλύψεων SIC υψηλής καθαρότητας, με ομοιομορφία πάχους φιλμ εντός ± 5% και τραχύτητα επιφάνειας τόσο χαμηλή όσο ra≤0,5μm.

Το τυπικό πάχος επικάλυψης είναι 100-300μm και μπορεί να αντέξει ένα περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας 1600 ℃.

Σενάρια εφαρμογής και πλεονεκτήματα απόδοσης:

Εφαρμοστέος εξοπλισμός:

Χρησιμοποιείται κυρίως για επιταξιακό φούρνο καρβιδίου 6 ιντσών LPE, υποστηρίζοντας την ομοεπιταξιακή ανάπτυξη του SIC.

Κατάλληλο για εξοπλισμό χάραξης, εξοπλισμό MOCVD και άλλα σενάρια που απαιτούν υψηλή αντοχή στη διάβρωση.

Βασικοί δείκτες:

Συντελεστής θερμικής διαστολής: 4.5 × 10⁻⁶/k (αντιστοίχιση με υπόστρωμα γραφίτη για τη μείωση της θερμικής τάσης).

Αντίσταση: 0.1-10Ω · cm (απαιτήσεις αγωγιμότητας συνάντησης).

Η διάρκεια ζωής: 3-5 φορές μεγαλύτερη από τα παραδοσιακά υλικά χαλαζία/πυρίτιο.

Τεχνικά εμπόδια και προκλήσεις

Αυτό το προϊόν πρέπει να ξεπεράσει τις δυσκολίες της διαδικασίας, όπως ο έλεγχος ομοιομορφίας επικάλυψης (όπως η αντιστάθμιση πάχους άκρων) και η βελτιστοποίηση της διασύνδεσης της επικάλυψης (≥30MPa) και ταυτόχρονα πρέπει να ταιριάζουν με την περιστροφή υψηλής ταχύτητας (1000rpm) και τις απαιτήσεις κλίσης της θερμοκρασίας του εξοπλισμού LPE.