Νέα

Μέσω της συνεχούς τεχνολογικής προόδου και της σε βάθος έρευνας μηχανισμού, η 3C-SIC ετεροεπιταξιακή τεχνολογία αναμένεται να διαδραματίσει πιο σημαντικό ρόλο στη βιομηχανία ημιαγωγών και να προωθήσει την ανάπτυξη ηλεκτρονικών συσκευών υψηλής απόδοσης.

Χωρική ALD, χωρικά απομονωμένη εναπόθεση ατομικού στρώματος. Το δίσκο μετακινείται μεταξύ διαφορετικών θέσεων και εκτίθεται σε διαφορετικούς πρόδρομους σε κάθε θέση. Το παρακάτω σχήμα είναι μια σύγκριση μεταξύ της παραδοσιακής ALD και του χωρικά απομονωμένου ALD.

Πρόσφατα, το Γερμανικό Ερευνητικό Ινστιτούτο Fraunhofer IISB έχει κάνει μια σημαντική ανακάλυψη στην έρευνα και ανάπτυξη της τεχνολογίας επίστρωσης καρβιδίου Tantalum και ανέπτυξε μια λύση επίστρωσης ψεκασμού που είναι πιο ευέλικτη και φιλική προς το περιβάλλον από τη λύση εναπόθεσης CVD και έχει εμπορευματοποιηθεί.