Νέα της βιομηχανίας

Μεταξύ των διαθέσιμων τεχνολογιών, ο κλίβανος ανάπτυξης κρυστάλλων SiC με θέρμανση με αντίσταση μεγάλου μεγέθους έχει αναδειχθεί ως κρίσιμη λύση για την παραγωγή κρυστάλλων SiC μεγάλης διαμέτρου και χαμηλού ελαττώματος με βελτιωμένη συνοχή και απόδοση. Αυτό το άρθρο διερευνά πώς λειτουργεί αυτή η τεχνολογία, τα πλεονεκτήματα, τις εφαρμογές της και γιατί οι ηγέτες του κλάδου εμπιστεύονται τις καινοτόμες λύσεις της Veteksemi.

Ένας επικαλυμμένος με SiC υποδοχέας γραφίτη για ASM δεν είναι απλώς ένα ανταλλακτικό μέσα σε ένα σύστημα επιταξίας. Είναι ένας φορέας κρίσιμος για τη διεργασία που επηρεάζει τη θερμική ομοιομορφία, την καθαρότητα της γκοφρέτας, την ανθεκτικότητα της επίστρωσης, τη σταθερότητα του θαλάμου και το μακροπρόθεσμο κόστος παραγωγής.

Ένα κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC δεν είναι απλώς ένα προστατευτικό καπάκι ή ένα επικαλυμμένο εξάρτημα γραφίτη. Σε διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, μπορεί να επηρεάσει την καθαριότητα του θαλάμου, τη θερμική σταθερότητα, τη διάρκεια ζωής του μέρους και τη συνοχή της διαδικασίας.